簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "黃柏仁".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="離子束濺鍍法"


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    退火條件對以離子束濺鍍法沈積氧化鋅薄膜之特性研究
    • 電子工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 蔡東逸 指導教授: 趙良君
    • 使用毛細式離子源濺鍍氧化鋅靶,沉積氧化鋅薄膜於晶向(100)矽基板上,隨後於氧與氮氣氛下退火,討論不同退火條件對氧化鋅薄膜特性之影響。 XRD顯示未退火之氧化鋅薄膜無任何繞射峰值,ZnO(002)繞…
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